MTI电容位移传感器
AS-9000 AS-500 MICROCAP电容位移传
感器
|
|
|
|
? |
应用范围：
适于半导体、磁盘驱动器、机械用具、电子工业
●位移、●厚度、●同轴度、●振动、●尺寸大小、●平坦度、
●内外径、●发动机振动
放大器规格：
|
特点
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AS-9000
|
AS-500
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MicroCap
|
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通道数
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最多 2通道
|
最多6通道
|
1通道
|
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1测量范围
|
0 to 12.5mm (0 to 0.5 in.)
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2分辨率(%满量程) RMS
|
0.00%
|
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3精度(%满量程)
|
± 0.02%
|
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频率响应
|
标准的滤波器模块有(10Hz, 100Hz, 200Hz, 500Hz, 1kHz, 2kHz or 5kHz)
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可选组件
|
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稳定稳定性
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± 0.01% FSR/ °C
|
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模拟输出 0-10 Vdc
|
BNC4
|
BNC4
|
欧洲标准螺丝端子
|
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输出阻抗
|
50
|
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电力需求
|
85到265 Vac
47到 440Hz
|
85到 265 Vac
47到 440 Hz
可选12 Vdc
|
± 15 Vdc
|
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求和放大器
|
标准的双通道单位
|
插板卡式
|
没有
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操作温度
|
4 to 38°C
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尺寸
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240x160x50mm
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175x140x340mm
|
150x60 x13mm
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重量
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2.3 kg
|
4.6 kg
|
0.11 kg
|
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? |
| ? |
? |
? |
| ? |
? |
? |
| ? |
? |
? |
? |
? |
|
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（标准规格的电容探头以达到纳米级别的分辨率并且有非常好的稳定性）
电容位移传感器的应用
显微镜聚焦 ?镜头的对准 ?测量零件的外形 ?测量零件的倾斜 ?测量半导体硅片的厚度 ?测量压电平台的位移 ?测量振动 ?测量电脑硬盘运行和厚度 ?测量刹车盘的翘曲和厚度 ?测量金属板的厚度 ?测量光伏晶圆
MTI 标准探头的特点
● 电缆和探头使用的的温度范围: -130oC -- 200oC (也有高温探头，在下一页有介绍)
● 连接头的使用温度范围: -65oC -- 85oC
● 精度: 高于满量程的±0.02% （当探头和放大器经过和被测物校准后）
● 标准放大器滤波带宽: 500Hz
● 可选滤波带宽 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel
● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 滤波带宽 Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程
● 探头和电缆互换性: ± 0.5%（在没有经过校准的情况下互换）
● 承受压力范围: 14MPa- (不适用于高温探头)
● 材料: 不锈钢结构,内部没有电子元器件
● 带线缆的探头，同轴电缆长度: 2.4m (可选延长线缆.)
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型号 ASP-1-ILR
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量程
|
2扩展量程
|
感度
|
感测直径E
|
探头直径D
|
探头长度L
|
最小范围
|
|
μm
25.4
|
10
|
μm/V
2.54
|
mm
1.09
|
mm
2.36
|
mm
9.53
|
μm
1.270
|
|
ASP-2-ILR
|
50.8
|
10
|
5.08
|
1.55
|
2.84
|
9.53
|
2.540
|
|
ASP-5-ILR
|
127.0
|
10
|
12.70
|
2.49
|
3.96
|
9.53
|
6.350
|
|
ASP-10-ILR
|
254.0
|
10
|
25.40
|
3.53
|
5.54
|
9.53
|
12.700
|
|
ASP-20-ILR
|
508.0
|
4
|
50.80
|
5.00
|
7.92
|
9.53
|
25.400
|
|
ASP-50-ILR
|
1270.0
|
3
|
127.00
|
7.98
|
13.87
|
9.53
|
63.500
|
|
ASP-100-ILR
|
2540.0
|
2
|
254.00
|
11.25
|
25.40
|
9.53
|
127.000
|
|
ASP-200-ILR
|
5080.0
|
2
|
508.00
|
15.93
|
38.10
|
9.53
|
254.000
|
|
型号 ASP-25M-CTR
|
量程
|
2扩展范围
|
感度
|
感测直径E
|
探头直径D
|
探头长度L
|
最小范围
|
|
μm
25.4
|
10
|
μm/V
2.54
|
mm
1.09
|
mm
9.53
|
mm
25.40
|
μm
1.270
|
|
ASP-50M-CTR
|
50.8
|
10
|
5.08
|
1.55
|
9.53
|
25.40
|
2.540
|
|
ASP-125M-CTR
|
127.0
|
10
|
12.70
|
2.49
|
9.53
|
25.40
|
6.350
|
|
ASP-250M-CTR
|
254.0
|
10
|
25.40
|
3.53
|
9.53
|
25.40
|
12.700
|
|
ASP-500M-CTR
|
508.0
|
4
|
50.80
|
5.00
|
11.13
|
25.40
|
25.400
|
|
ASP-1250M-CTR
|
1270.0
|
3
|
127.00
|
7.98
|
15.88
|
25.40
|
63.500
|
|
ASP-2500M-CTR
|
2540.0
|
2
|
254.00
|
11.25
|
25.40
|
25.40
|
127.000
|
|
产品型号 ASP-1-ILA
|
量程
|
2扩展范围
|
感度
|
感测直径E
|
探头直径D
|
探头长度L
|
最小范围
|
|
μm
25.4
|
10
|
μm/V
2.54
|
mm
1.09
|
mm
2.36
|
mm
9.53
|
μm
1.270
|
|
ASP-2-ILA
|
50.8
|
10
|
5.08
|
1.55
|
2.84
|
9.53
|
2.540
|
|
ASP-5-ILA
|
127.0
|
10
|
12.70
|
2.49
|
3.96
|
9.53
|
6.350
|
|
ASP-10-ILA
|
254.0
|
10
|
25.40
|
3.53
|
5.54
|
9.53
|
12.700
|
|
ASP-20-ILA
|
508.0
|
4
|
50.80
|
5.00
|
7.92
|
9.53
|
25.400
|
|
ASP-50-ILA
|
1270.0
|
3
|
127.00
|
7.98
|
13.87
|
9.53
|
63.500
|
|
ASP-100-ILA
|
2540.0
|
2
|
254.00
|
11.25
|
25.40
|
9.53
|
127.000
|
|
ASP-200-ILA
|
5080.0
|
2
|
508.00
|
15.93
|
38.10
|
9.53
|
254.000
|
|
型号 ASP-0.5-CTA
|
量程
|
2扩展范围
|
感度
|
感测直径E
|
探头直径D
|
探头长度L
|
最小范围
|
|
μm
12.7
|
20
|
μm/V
1.27
|
mm
0.74
|
mm
6.35
|
mm
63.50
|
μm
0.635
|
|
ASP-25M-CTA
|
25.4
|
10
|
2.54
|
1.09
|
6.35
|
63.50
|
1.270
|
|
ASP-50M-CTA
|
50.8
|
10
|
5.08
|
1.55
|
6.35
|
63.50
|
2.540
|
|
ASP-125M-CTA
|
127.0
|
10
|
12.70
|
2.49
|
6.35
|
63.50
|
6.350
|
|
ASP-250M-CTA
|
254.0
|
10
|
25.40
|
3.53
|
6.35
|
63.50
|
12.700
|
|
ASP-500M-CTA
|
508.0
|
5
|
50.80
|
5.00
|
11.10
|
63.50
|
25.400
|
|
ASP-1250M-CTA
|
1270.0
|
3
|
127.00
|
7.98
|
15.88
|
63.50
|
63.500
|
|
ASP-2500M-CTA
|
2540.0
|
2
|
254.00
|
11.25
|
25.40
|
63.50
|
127.000
|
|
ASP-5000M-CTA
|
5080.0
|
2
|
508.00
|
15.93
|
38.10
|
101.60
|
254.000
|
|
ASP-500-CTA
|
12700.0
|
1
|
1270.00
|
25.22
|
82.55
|
101.60
|
635.000
|
|
型号 ASP-1-PCA
|
量程
|
2扩展范围
|
感度
|
感测直径E
|
探头直径D
|
探头长度L
|
最小范围
|
|
μm
25.4
|
10
|
μm/V
2.54
|
mm
1.09
|
mm
2.36
|
mm
2.54
|
μm
1.270
|
|
ASP-2-PCA
|
50.8
|
10
|
5.08
|
1.55
|
2.84
|
2.54
|
2.540
|
|
ASP-5-PCA
|
127.0
|
10
|
12.70
|
2.49
|
3.96
|
2.54
|
6.350
|
|
ASP-10-PCA
|
254.0
|
10
|
25.40
|
3.53
|
5.54
|
2.54
|
12.700
|
|
ASP-20-PCA
|
508.0
|
4
|
50.80
|
4.98
|
7.92
|
2.54
|
25.400
|
|
ASP-50-PCA
|
1270.0
|
3
|
127.00
|
7.98
|
13.87
|
2.54
|
63.500
|
|
ASP-100-PCA
|
2540.0
|
2
|
254.00
|
11.25
|
25.40
|
2.54
|
<,P class=TableParagraph style="MARGIN: 0.4pt 0cm 0pt 13.65pt">127.000
|
|
型号 ASP-1-PCR
|
量程
|
2扩展范围
|
感度
|
感测直径E
|
探头直径D
|
探头直径L
|
最小范围
|
|
μm
25.4
|
10
|
μm/V
2.54
|
mm
1.09
|
mm
2.36
|
mm
2.54
|
μm
1.270
|
|
ASP-2-PCR
|
50.8
|
10
|
5.08
|
1.55
|
2.84
|
2.54
|
2.540
|
|
ASP-5-PCR
|
127.0
|
10
|
12.70
|
2.49
|
3.96
|
2.54
|
6.350
|
|
ASP-10-PCR
|
254.0
|
10
|
25.40
|
3.53
|
5.54
|
2.54
|
12.700
|
|
ASP-20-PCR
|
508.0
|
4
|
50.80
|
4.98
|
7.92
|
2.54
|
25.400
|
|
ASP-50-PCR
|
1270.0
|
3
|
127.00
|
7.98
|
13.87
|
2.54
|
63.500
|
|
ASP-100-PCR
|
2540.0
|
2
|
254.00
|
11.25
|
25.40
|
2.54
|
127.000
|
|
ASP-200-PCR
|
5080.0
|
2
|
508.00
|
15.93
|
38.10
|
5.08
|
254.000
|